합성 양압 폭발 방지 가스 캐비닛 실란 & 에틸렌 폭발 방지 가스 캐비닛

제품개요

Afklok 맞춤형 복합 양압 캐비닛은 양압 보호, 본질 안전 회로 및 방염 인클로저의 세 가지 핵심 방폭 기술을 통합합니다. 가연성 및 위험 공정가스용으로 특별히 개발된 종합 방폭 가스 공급 시스템입니다.
고급 컴팩트 구조, 직관적인 시각적 조작 및 전자동 안전 인터록 기능을 갖춘 이 캐비닛은 반도체 및 화학 산업의 엄격한 방폭 표준을 완벽하게 준수합니다. IIA~IIC 등급, T1~T4 폭발성 가스 혼합물이 있는 장소(Zone 1, Zone 2) 및 가연성 분진 위험 지역(Zone 21, Zone 22)에 적용 가능합니다. 실란, 에틸렌, 질소 등 자연발화성, 가연성, 질식성 특수 가스를 안전하게 전달하고 제어하도록 설계되었습니다.

반도체 공정 표준을 준수하는 고순도 맞춤형 가스 회로
내부 가스 회로는 BA/EP 등급 316L 스테인리스강 고순도 파이프라인을 채택하여 SiH4 실란, C2H4 에틸렌, N2 질소에 대한 독립적인 가스 회로 관리를 지원합니다. 정밀 압력 조절기, 다이어프램 밸브, 압력 게이지 및 질소 진공 퍼지 루프와 일치합니다. 투명한 관찰창을 통해 파이프라인 작동 상태를 실시간으로 육안으로 확인할 수 있어 일상 점검, 누출 테스트, 가스 전환 작동에 편리합니다.
내부 가스 루프는 반도체 산업 표준을 충족하는 BA/EP 등급 316L 스테인리스 스틸 고순도 튜빙으로 구성되어 SiH4 실란, C2H4 에틸렌 및 N2 질소를 포함한 여러 공정 가스의 독립적인 제어를 지원합니다. 적합한 액세서리에는 정밀 압력 조절기, 고순도 다이어프램 밸브, 압력 게이지 및 질소 진공 퍼지 루프가 포함됩니다. 전면 투명 투시창을 통해 파이프라인 상태를 실시간으로 육안으로 검사할 수 있어 일일 순찰, 누출 테스트, 가스 전환 작업이 용이해집니다. 오염 제로는 안정적인 초고순도 공정 가스 공급을 보장합니다.

완전 맞춤형 솔루션, 광범위한 산업 생산 시나리오 적용
조정 가능한 가스 채널 수량, 가스 유형, 캐비닛 크기, 방폭 등급 및 신호 출력 기능 등 고객 프로세스 요구 사항에 따라 완전한 맞춤화를 지원합니다. 캐비닛은 공장 중앙 제어 시스템과 연결되어 원격 경보 및 비상 차단을 실현할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼 제조, 광전지 생산, LCD/OLED 디스플레이, 정밀 화학, 신소재 실험실 및 리튬 배터리 제조 위험 작업장에 널리 적용됩니다.
조정 가능한 가스 회로 수량, 호환 가능한 가스 유형, 캐비닛 크기, 방폭 등급 및 원격 신호 출력 기능 등 생산 라인 요구 사항에 따라 완전한 맞춤 서비스를 이용할 수 있습니다. 캐비닛은 공장 중앙 제어 시스템에 연결되어 원격 경보 및 비상 가스 차단을 지원할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼 팹, PV 셀 생산 라인, LCD/OLED 패널 작업장, 정밀화학 공장의 특수 가스 유통실, 신소재 연구를 위한 고위험 실험실, 리튬 배터리 제조 시설 등 위험 지역에 널리 배치됩니다.

방폭 가스 캐비닛, 정압 퍼지 캐비닛, 복합 방폭 캐비닛, VMB 가스 캐비닛, 특수 가스 캐비닛, 실란 가스 캐비닛, 반도체 가스 캐비닛, 본질 안전 캐비닛, 방염 캐비닛, Zone 1 Zone 2 가스 캐비닛, 위험 지역 가스 공급 캐비닛, PV 공장 가스 캐비닛, LCD 패널 가스 캐비닛