특수한 가스 장비는 반도체 광전자 전자제품에 일반적으로 사용됩니다.

제품 설명:
특수 가스 전달 캐비닛은 불화 및 폭발성, 부식성, 독성 및 기타 위험한 가스 공급 및 공급 시스템을 공급하기 위해 설계되었습니다. 범주에 따라 다음과 같이 나눌 수 있습니다.완전 자동, 반 자동 및 수동 작동 기본 기능에는 자동 불기, automatic switching and automatic safety cut-off in case of emergency (when the set alarm signal is triggered) The fully automatic gas cabinet realizes the safe and effective operation of the equipment by adopting the PLC control and touch screen as the man-machine interface, 그리고 장비에 설치된 압력 센서, 공기 밸브, 과잉 흐름 미터 등을 통해장비의 안전하고 효과적인 작동을 위해 프로그래밍 된 내부 PLC는 타오르는 가스와 같은 위험한 가스의 공급을 위해 설계되었습니다., 폭발성, 부식성, 독성 Its internal PLC programmed safety interlock function and the reasonable selection and layout of high purity valves not only satisfy the requirements of continuous supply of special gases and high purity in the production process of semiconductor process, 하지만 또한 공장의 정상적인 생산과 직원의 개인 안전을 보장합니다.

가스: SiH4, NF3, NH3, N2O, HCI 등과 같은 불화성, 부식성, 독성 가스

특징:

고객의 상황에 따라 다음과 같은 안전장치가 가스 캐비닛에 통합될 수 있습니다.
1 가스 캐비닛에는 기계 잠금으로 자폐 문이 있습니다.
2 가스 캐비닛에는 스프링클러 헤드가 장착되어야 하며, 가스 캐비닛의 물이 캐비닛 안의 가스와 반응하지 않는 한
3 문제 및 종료 경보 는 음성 및 시각적 경보 와 컨트롤러 화면 에 표시 되는 경보 를 통해 운영자 를 경고 합니다.종료 경보는 공기 밸브를 닫고 제어 프로그램 종료.
4 과잉 가스 흐름을 가스를 하류에서 과도하게 발생 시 운영자를 경보하기 위해 넘치는 스위치가 설치되어 있습니다.
5 배기가스 모니터 를 설치 하여 캐비닛 에 충분한 환기가 있는지 확인 합니다.
⑥ A diaphragm coupled pressure reducing valve is selected to automatically close the pressure reducing valve if the gas downstream pressure is higher than the pressure reducing valve set pressure because the diaphragm of the pressure reducing valve is mechanically coupled to the valve stem압력 절감 밸브 좌석이 손상되거나 부식되거나 오염되면 누출 될 수 있습니다.
⑦ A flow-restricting orifice fitting installed in the cylinder valve or cylinder connector greatly reduces the increase in gas flow caused when downstream equipment fails (supplied by the gas supplier).
8 자발화 가스 시스템에서는 UV/인프라 적색 탐지기가 필요합니다.
9 타오르는 가스 시스템에서는 온도 스위치가 필요합니다.
10 종료 경보가 발생하면 수동 작동이 비활성화됩니다.
응급 정지 버튼은 제어판에 있습니다.

기술 매개 변수:

응용 프로그램:

적용 가능한 산업: 반도체, TFT, 태양광, LED 및 기타 공장.

FAQ:

질문: 특수 가스 캐비닛이란 무엇인가요?
특수 가스 캐비닛은 일반적으로 반도체, 태양광, 전자 및 기타 산업에서 사용되는 특수 가스를 저장하고 전달하는 장비의 일종입니다.그것은 안전하게 관리 할 수 있으며 가스 품질과 공급 안정성을 보장하기 위해 특수 가스를 정확하게 제어 할 수 있습니다..

Q: 어떤 종류의 특수 가스 캐비닛이 있습니까?
주로 수동, 반자동 및 완전 자동 특수 가스 캐비닛이 있습니다.
 

Q: 내가 특수 가스 캐비닛 설치에 관심을 가져야 하는 것은 무엇입니까?
설치 장소는 화재 출처가 없는 잘 환기되고 건조한 장소에서 선택해야 합니다.
설치 중에 장비의 안정성을 보장하고 기울거나 흔들리는 것을 피합니다.
연결 파이프는 요구 사항에 부합하는 재료로 만들어져야 하며, 확고하게 연결되고 누출이 없는지 확인해야 합니다.

질문: 특수 가스 캐비닛을 올바르게 사용하는 방법은 무엇입니까?
사용 전에 장비의 작동 설명서를 자세히 읽어야 장비의 성능과 작동 방법을 이해 할 수 있습니다.
가스의 운반 및 통제는 정해진 작동 절차에 따라 오작동을 피합니다.
장비의 정상 작동을 보장하기 위해 정기적으로 장비를 검사하고 유지 관리하십시오.

Q: 특수 가스 캐비닛의 안전한 작동을 어떻게 보장합니까?
가스 누출 감지 장치를 설치하여 누출을 감지하고 제때 조치를 취합니다.
운영자를 훈련시켜 안전에 대한 인식과 운영 기술을 향상시킵니다.
장비의 안전 성능을 보장하기 위해 장비의 정기적인 안전 검사 및 유지보수

질문: 특수 가스 캐비닛에 대한 유지보수 작업은 무엇입니까?
누출이 없도록 장비의 밀폐를 정기적으로 검사하십시오.
장비 의 표면 을 깨끗 하고 위생적 으로 유지 하기 위해 청소 하십시오.
밸브, 파이프 및 기타 부품의 마모를 확인하고 손상된 부품을 적시에 교체하십시오.

Q: 특수 가스 캐비닛의 유지보수 주기는 무엇입니까?
장비의 사용 빈도와 환경 조건에 따라 유지보수 주기는 전반적인 유지보수를 위해 일반적으로 6개월에서 1년마다 권장됩니다.

질문: 가스 캐비닛이 고장 났을 때 어떻게 해야 합니까?
먼저 장비를 사용하지 말고 가스 공급을 차단하세요.
결함 현상을 확인하고 결함 원인을 결정합니다.
장애 원인에 따라 적절한 문제 해결 조치를 취하십시오. 손상된 부품을 교체하거나 전기 장애 등을 복구하십시오.