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제품 상세 정보:
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| 애플리케이션: | 장군 | 재료: | 스테인레스 강 |
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| 압력: | 고압 | 매체의 온도: | 중간 온도, 정상적인 온도, 저온 |
| 매체: | 공기, 가스를 공급합니다 | 포트의 크기: | 표준 |
| 표준 또는 비정상: | 표준 | 보증: | 1년이요 |
| 하이 라이트: | CE PTFE 스테인레스 강 가스 Filter,15L/ 민 스테인레스 강 가스 Filter,15Mpa 고압 가스 필터 |
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가스 필터
| 고순도 가스 시스템에서 사용된 가스 필터는 충돌, 확산에 따라 가스에서 입자를 여과하기 위한 장치고 차단 메카니즘입니다. 메가비트 수준에 집적 회로의 발전과 함께, 더 엄격한 요구사항은 극단적 청소에 대해 제시됩니다. 세미 표준에 따르면, 파이프라인에 의해 공급된 10011 등급 질소와 아르곤에서 2011lm 입자는 014 Ｌ 이하입니다 ; 16mdram 가스에서 particles > 011lm의 수는 1 Ｌ 이하입니다. 초순도 가스 또는 전자적 가스 공급 시스템에서, 진동 또는 기류 영향에 의해 초래된 떨어지는 입자를 제거하기 위해, 필터는 밸브와 맞춤의 그리고 가스를 사용하기 전의 하류를 설치하여야 합니다. 입자 필터 중에서 선택과 상술은 가스 제어 상술에 의존합니다. 필터의 외피는 316 스테인레스 강으로 만들어집니다. 필터 엘리멘트는 구멍이 많은 금속 필터 성분, 항부식과 열-저항 니켈 베이스 합금, 100% 니켈 합금, 알루미늄 세라믹, 테플로를 소결시켰습니다 |
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제품 특징
| 15부터 300SL / 분까지 광범위한 애플리케이션, 플로우 범위 그것은 가장 고순도 반도체 공정 가스와 양립 가능합니다. 고유속 효율, 극소형 압력 강하를 유지하기 위한 3 나노 입자 여과 작용 용량. 5Ra 전해폴리싱 표면은 체내 오염을 방지할 수 있습니다. 탈염수로 세척된 후, 그것은 반도체 공정 표준을 충족시키기 위해 고온 질소로 구워집니다. 100만 먼지 없는 무균 워크샵 제작, 세척용이고 패키징 환경. 테스트 100% 헬륨 누설. |
제품의 성능 매개 변수
| 여과 정밀도 | ≥0.0025μm | |
| 여과 효능 | 이동 rate99.99999%≥0.0025μm | |
| 정격유량 | 15L/Min | |
| 60L/Min | ||
| 120/Min | ||
| 200Min | ||
| 300Min | ||
| 필터 구성물 | 필터 엘리멘트 | 316/PTFE |
| 외피 | 녹슬지 않는 steel316L | |
| 근무 조건 | 주입구 최고 가압력 | 21Mpa(310kgf/cm2) |
| 최대 압력 차 | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
| 최대 작업 온도 | 430C (불활성 가스) | |
| 헬륨 누출율 | / 초 1x10-9atm 입방 센티미터 | |
| 표면가공도 | ≤Ra 5μm | |
우리의 회사
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포장 & 배달
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담당자: Info
전화 번호: +8613430639757
