초고순도 가스 공급 시스템의 선두 공급업체인 Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd.(WOFLY)는 공식적으로 특수 실란 밸브 매니폴드 박스(VMB)를 출시했습니다. 위험한 특수 가스의 유통을 위해 특별히 설계된 이 새로운 시스템은 반도체, 광전지, 광전자공학 산업의 핵심 공정에 대한 안전성과 정밀도를 이중으로 보장합니다.
실란(SiH₄)은 현대 전자제품 제조의 초석이지만 자연발화성과 폭발성으로 인해 극도의 위험을 안고 있습니다. WOFLY의 새로운 VMB 시리즈는 구조적 혁신과 지능형 안전 제어의 결합을 통해 이러한 과제를 해결합니다.
고급 유통 및 독립 제어
WOFLY VMB는 단일 업스트림 가스 공급원을 여러 개의 독립적인 분배 지점으로 분할하여 여러 공정 도구에 동시에 가스를 공급하도록 설계되었습니다. 각 지점에는 독립적인 차단 밸브와 압력 모니터링 장치가 있어 다른 생산 라인의 작동을 중단하지 않고도 격리된 유지 관리 및 문제 해결이 가능합니다.
핵심 안전 기능 및 기술적 우수성
1. 불활성 퍼지 및 변위 시스템
고순도 질소(PN2) 퍼지 및 진공 라인이 내장되어 있습니다. 이를 통해 유지 관리 또는 장비 변경 전에 잔류 실란을 철저히 제거할 수 있으며, 공기 접촉 시 자연 발화를 방지하기 위해 안전 표준을 엄격히 준수합니다.
2. 실시간 모니터링 및 인터록 알람
통합된 고정밀 압력 센서 및 게이지는 밀리초 수준의 응답을 제공합니다. 이 시스템은 공압 비상 차단 밸브 및 시설 제어 센터와 연결되어 압력 이상이나 누출이 감지되면 즉시 격리됩니다.
3. 음압 인클로저
완전히 밀폐된 316L 스테인리스 스틸 캐비닛은 안정적인 음압을 유지합니다. 모든 미량 누출은 중앙 집중식 배기 시스템을 통해 저감 장치로 안전하게 추출되어 작업장 환경에 대한 위험을 제거합니다.
4. 전자등급 순도
모든 접액 구성품은 SS316L EP(전해 연마) 등급 스테인리스 스틸로 제작됩니다. 자동 오비탈 용접을 활용하는 이 시스템은 헬륨 누출률이 1×10⁻⁹ atm·cc/s 이하인 깨끗하고 입자가 없는 환경을 보장하여 고순도 가스의 무결성을 보존합니다.
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광범위한 산업 응용
WOFLY Silane VMB의 다용성과 견고한 설계로 인해 다음의 표준 구성이 되었습니다.
- 반도체 웨이퍼 팹:PECVD, LPCVD, ALD 등의 박막 증착 공정에 필수적입니다.
- 태양광전지 생산:실리콘 기반 필름 증착을 위한 TOPCon 및 HJT와 같은 고효율 셀 라인에 널리 사용됩니다.
- 첨단 디스플레이 제조:TFT-LCD, AMOLED, Mini/Micro LED 생산을 지원합니다.
- 연구 및 연구실:재료 R&D 및 공정 검증을 위한 소규모의 정밀한 유통을 제공합니다.
WOFLY의 기술 이사는 "특수 가스 취급에서 안전과 순도는 협상할 수 없습니다."라고 말했습니다. "우리의 새로운 Silane VMB는 단순한 분배 상자가 아닙니다. 고객이 절대적인 확신을 가지고 생산 규모를 확장할 수 있도록 해주는 포괄적인 안전 쉴드입니다."
실란 VMB에 대한 자세한 내용을 보거나 당사의 전체 가스 처리 솔루션을 살펴보려면 당사 웹사이트를 방문하십시오.www.szwofly.com또는 info@szwofly.com으로 문의해 주세요.
WOFLY 소개
Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd.(AFK/WOFLY)는 고순도 가스 공급 시스템에 중점을 둔 전문 제조업체이자 엔지니어링 회사입니다. 10년 이상의 전문 지식을 갖춘 WOFLY는 고정밀 조절기, VMB, 가스 캐비닛 및 통합 배관 솔루션을 통해 글로벌 첨단 기술 산업에 서비스를 제공합니다.
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