Wofly Technology VMB 실란 적용 밸브 매니폴드 분배 상자

실란용 VMB 밸브 어셈블리 분배함

고위험 특수 가스 분배의 안전 및 정밀도 이중 보증

01 핵심 기능

단일 소스 다중 경로 분배, 독립 분기 제어

장비는 상위 특수 가스 캐비닛의 단일 실란 가스 공급을 여러 독립 공급 분기로 분할하여 여러 공정 장치에 동시에 가스를 공급할 수 있으며 필요에 따라 분기 사용자 정의를 지원합니다. 각 분기에는 독립적인 온/오프 밸브와 압력 모니터링 장치가 장착되어 있어 가스 흐름을 별도로 제어하고 유지 보수를 위해 차단할 수 있습니다. 단일 분기의 유지 보수는 다른 분기의 정상적인 가스 공급에 영향을 미치지 않아 생산 라인 가동 중단 위험을 최소화합니다.

운영 안전을 위한 불활성 퍼지 및 진공 교체

시스템에는 고순도 질소(PN₂) 퍼지 라인과 진공 추출 라인이 내장되어 있습니다. 분기 유지 보수, 장비 시작 또는 종료, 파이프라인 분해 및 재조립 전에 대상 파이프라인은 전체 공정 불활성 가스 퍼지 및 진공 교체를 거쳐 라인에서 잔류 실란 가스를 완전히 퍼지하고 밸브가 열린 후 실란이 공기와 접촉하여 발생하는 자발적 연소를 방지합니다. 이는 특수 가스 시스템 엔지니어링 기술 표준에 명시된 실란 시스템의 안전 운영 요구 사항을 완전히 준수합니다.

316LEP 등급 스테인리스강 배관

실시간 압력 모니터링 및 비정상 조건 인터록 경고

각 분기 라인에는 고정밀 압력 게이지와 압력 센서가 장착되어 있어 입구 및 출구의 실시간 압력 조건을 표시하고 상한 및 하한 압력 제한 경보 구성을 지원합니다. 공압 비상 차단 밸브와 결합하여 시스템은 비정상적인 압력 또는 가스 누출과 같은 위험을 감지하면 해당 분기 라인 또는 주 가스 공급을 신속하게 차단할 수 있습니다. 가청 및 시각 경보를 트리거하고 플랜트의 중앙 제어 시스템과 통합하여 밀리초 수준의 비상 대응을 달성합니다.

음압 밀폐 보호, 중앙 집중식 누출 제어

시스템은 완전히 밀폐된 캐비닛 구조를 채택하고 있으며, 상단 배기구와 하단 흡입 그릴을 특징으로 하여 작동 중 캐비닛 내부의 안정적인 음압을 유지합니다. 미량 누출이 발생하더라도 실란 가스는 캐비닛 내부에 갇혀 배기 시스템을 통해 배기 가스 처리 장치로 중앙 추출되어 누출된 가스가 생산 작업장으로 확산되는 것을 방지하고 공간 수준에서 자발적 연소 및 중독 위험을 제거합니다.

02 핵심 기능

고위험 가스 전용 안전 설계

실란의 자체 발화 및 폭발 특성에 대해 특별히 최적화된 이 시스템에는 실란 가스 감지기 및 화염 감지 장치가 내장될 수 있습니다. 모든 전기 부품은 방폭 사양을 충족하며 다층 안전 인터록 메커니즘은 고위험 특수 가스 제어 표준을 완전히 준수하여 표준 불활성 가스 VMB의 안전 수준을 훨씬 초과합니다.

전자 등급 고순도 가스 공급

모든 유량 부품은 전해 연마된 내부 표면을 가진 SS316L EP 등급 스테인리스강으로 만들어집니다. 배관은 완전 자동 트랙 용접 공정을 사용하여 제작되어 사각지대가 없고 입자 방출이 없습니다. 밸브는 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s의 누출률로 헬륨 누출 테스트를 거쳐 실란 가스 순도가 전체 공정에서 손상되지 않도록 보장하고 고정밀 제조 공정의 요구 사항을 충족합니다.

바닥 설치형 디자인으로 뛰어난 적응성 제공

바닥 설치형 브래킷 디자인은 더 큰 하중 지지 용량을 제공하며 벽걸이 설치가 필요 없습니다. 클린룸 주변 또는 특수 가스 복도와 같은 다양한 환경에 유연하게 배치할 수 있어 벽걸이 VMB에 비해 복잡한 생산 라인 레이아웃에 더 잘 적응할 수 있습니다.

                                                                                                                                                                                                        VMB 내부 밸브 / 다이어프램 밸브 / 압력 게이지

03 핵심 적용 시나리오

반도체 웨이퍼 제조

웨이퍼 생산 라인의 PECVD, LPCVD, ALD와 같은 박막 증착 공정과 호환되는 이 시스템은 여러 코팅 장치에 실란 가스를 정밀하게 분배하여 질화규소 및 산화규소 박막 증착 공정의 안정성을 보장합니다. 또한 클린룸의 고위험 가스 안전 제어 요구 사항을 충족하여 웨이퍼 팹에서 특수 가스의 2차 분배를 위한 표준 구성입니다.

태양광 셀 생산

TOPCon, HJT, 이종 접합과 같은 고효율 셀 생산 라인에서 널리 사용되는 이 시스템은 실리콘 기반 박막 증착 및 도핑 공정 중에 여러 기계에 실란 가스를 분배할 수 있습니다. 고용량 태양광 생산 라인의 연속 가스 공급 요구를 충족하는 동시에 라인 개조 및 확장을 위한 유연성을 제공하여 비용 절감 및 효율성 향상에 기여합니다.

                                                                         - VMB -

차세대 디스플레이 및 광전자 제조

TFT-LCD, AMOLED, Mini/Micro LED 디스플레이 패널 생산 라인, 광섬유 프리폼 및 화합물 반도체와 같은 분야에 서비스를 제공하며, 고세대 생산 라인의 대규모, 다중 기계 가스 공급 레이아웃에 맞춰 박막 증착 및 에칭 공정을 위한 안정적이고 제어 가능한 실란 디스펜싱 및 전달을 제공합니다.

연구 기관 및 테스트 실험실

대학 실험실 및 연구 기관의 재료 R&D 및 공정 검증 플랫폼을 위한 소규모 실란 분배 솔루션을 제공하며, 운영 안전과 가스 공급 정밀도를 균형 있게 맞춰 소량 배치, 다중 조건 실험 가스 응용 분야의 요구를 충족합니다.

장점 Wofly 기술 제품 및 서비스

1. 자체 R&D 및 제조, 뛰어난 맞춤화 기능

국가급 첨단 기술 기업이자 '전문적이고 정제되고 독특하며 혁신적인' 기업인 Wofly Technology는 독립적인 R&D 및 제조 역량을 보유하고 있습니다. 회사는 자체 8,000평방미터 규모의 생산 기지를 구축했으며, Class 100 및 Class 1,000 클린룸 조립 워크샵을 갖추고 있습니다. 솔루션 설계, 밸브 조립부터 테스트 및 출하까지 전체 VMB 제품 시리즈의 전체 생산 공정은 사내에서 완료됩니다. 제품은 가스 배출구 수, 압력 매개변수, 제어 모드 및 설치 시나리오에 대한 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 완전히 맞춤화할 수 있으며, 다양한 산업 및 규모의 생산 라인 요구를 충족합니다.

                              실란 전용 VMB 내부 보기

2. 완전한 자격 및 보장된 규정 준수

회사는 건축 기계 및 전기 설치 프로젝트에 대한 전문 계약 자격, 압력 파이프라인 설계 및 설치에 대한 GC2 자격, 작업 안전 허가증을 보유하고 있습니다. 당사 제품은 CE 및 ISO 9001을 포함한 여러 인증을 획득했습니다. 설계 및 제조는 GB 50646과 같은 특수 가스 엔지니어링에 대한 국가 표준을 엄격하게 준수합니다. 모든 장비는 공장을 떠나기 전에 포괄적인 헬륨 누출 테스트 및 기능 테스트를 거쳐 배송 시 규정 준수 운영을 위해 준비됩니다.

                                Wofly 기술의 Class 1,000 클린룸 투어

3. 전체 산업 체인에 걸친 원스톱 서비스

Wofly Technology는 개별 장비 공급을 넘어 특수 가스 스테이션 계획, 주 배관 설치, VMB 분배 노드 레이아웃부터 엔드포인트 2차 배관까지 전체 공정을 포괄하는 포괄적인 원스톱 솔루션을 제공합니다. 이 솔루션은 기술 컨설팅, 시스템 설계, 사전 제작 및 설치, 테스트 및 승인, 운영 및 유지 보수 교육을 포함한 전체 수명 주기를 포함합니다. 고객은 여러 공급 업체와 조정할 필요가 없어 프로젝트 커뮤니케이션 및 관리 비용을 크게 절감할 수 있습니다.

                                                                                                               실란 전용 VMB 내부 보기

4. 10년 이상의 산업 전문 지식 및 광범위한 구현 경험

전자 산업용 특수 가스 분야에서 10년 이상의 깊은 전문 지식을 바탕으로 당사의 서비스는 반도체, 태양광, 바이오 제약 및 연구 기관을 포함한 여러 분야에 걸쳐 있습니다. 우리는 수백 건의 특수 가스 시스템 엔지니어링 프로젝트를 성공적으로 구현했습니다. 당사의 핵심 팀은 고위험 특수 가스 시스템의 설계 및 건설에 대한 광범위한 경험을 보유하고 있어 고객 요구에 신속하게 대응하고 실제 운영 조건에 맞는 최적의 솔루션을 제공할 수 있습니다.

Wofly Technology의 VMB 및 특수 가스 캐비닛 쇼케이스

전자 특수 가스 시스템의 '엔드포인트 허브'로서 실란 전용 VMB는 생산 라인에 안전하고 안정적이며 고순도 가스를 공급하는 데 중요한 구성 요소입니다. Wofly Technology는 기술을 계속 우선시하고 다양한 고위험 특수 가스 운영 조건에 맞게 제품을 반복적으로 최적화하여 첨단 제조 산업에 더 안정적이고 맞춤화된 특수 가스 시스템 솔루션을 제공할 것입니다.