반도체 산업의 급성장 발전으로 인해 지원 프로젝트에 더 높은 요구 사항이 제기되었습니다. 특수 가스의 공급은 효과적인 시스템을 형성하지 못했습니다.그리고 엉뚱한 실린더의 문제, 혼란스러운 관리와 호환되지 않는 가스 혼합이 더 심각하여 가스 소비의 안전성에 큰 영향을 미칩니다. 그렇다면 특별 가스 파이프 라인 프로젝트에서 가스 꼬리 가스를 어떻게 처리합니까?오늘 첸젠 우페이 기술 회사의 직원들이:
특수 가스 배출 가스 처리
건강과 환경에 대한 특수 가스는 큰 피해를 초래할 것입니다.
특산가스의 폐가스의 상태
후기 가스 필연적으로 특별한 가스 시스템의 파생물로서 존재합니다. 과거에는 많은 대학과 대학에서, 실험실 가스 소비가 크지 않기 때문에,건설 단위의 소유자는 폐가스 배출 문제에 대해 완전히 인식하지 못합니다., 더 많은 반도체 공장이 싹트면서, 특수한 가스 배출 가스 생산에 대한 점점 더 많은 관심.어떻게 배포하는 것이 많은 사용자 앞에 문제가되었습니다.
특수 가스 시스템의 방출 가스 처리 장치의 처리 방법:
배기 가스 처리 장치의 유형은 처리되어야 하는 배기 가스 내의 특수 기체의 특성에 따라 선택되어야 합니다.및 불협화 특수 가스는 별도로 설치해야 할 꼬리 가스 처리 장치"
방울 가스 처리 장치는 GR, GC 및 기타 특수 가스 장비 근처에 배치되어야합니다.
특수가스의 폐가스 처리 방법은 건조처리 흡수, 습기 닦기, 열분해처리, 연소처리, 플라스마분해처리,희석 처리 및 위의 방법의 조합.
