반도체 제조 공정에 사용되는 유체 시스템 부품

September 18, 2023
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반도체 제조에 사용되는 다양한 화학 물질과 기체들은 생산의 모든 단계에서 끊김 없는 공급을 위해 견고한 유체 시스템을 필요로 합니다.이 유체 시스템은 반도체 제조에 필요한 극단적인 프로세스 조건을 지원 할 수 있어야하며 깨끗한따라서, 유체 시스템 구성 요소의 선택은 정밀 반도체 제조 과정에서 중요합니다.

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고품질의 유체 시스템 구성 요소를 선택하는 것은 생산 효율성을 높이고 시스템 다운타임을 줄이는 것과 동의합니다. 반도체 제조 프로세스에 관해서는우리는 유체 시스템 구성 요소의 중요한 역할과 신뢰성의 중요성을 논의합니다..

 

반도체 제조에서 유체 시스템 구성 요소의 중요성

 

반도체 제조의 유체 시스템 구성 요소에는 제어된 환경에서 화학 유체를 안전하게 운송하기 위해 다른 화학 혼합, 전달 및 제어 시스템이 포함됩니다.이상적인 유체 시스템은:

 

균일한 화학 혼합

 

오염 통제

 

온도 및 압력 조절

 

∙무중절한 화학물질 공급

 

반도체 유체 시스템 에서 그러한 이상적 인 조건 을 제공 할 수 있는 것 은 최고 품질 의 부품 만 이다. 그러한 부품 을 사용 하는 것 의 장점 은 다음 과 같다.

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정확함: 밸브, 조절기 및 펌프와 같은 구성 요소가 합동으로 작동하여 화학 물질의 올바른 비율이 생산 셀에 전달되도록 보장합니다.정확한 입력값은 흐름 변동의 위험을 제거합니다., 최종 제품의 품질을 향상시킵니다.

 

호환성 및 청결성: 공정 유체와 호환성 있는 재료 구성을 가진 유체 시스템 구성 요소는 오염 위험을 줄입니다.이러한 유체 시스템 구성 요소의 누출 없는 설치로 인해 미세먼지 오염 물질이 감소합니다., 더 나은 수확을 위해 깨끗하고 통제 된 제조 환경을 제공합니다.

 

안전: 반도체 제조에 사용되는 가스 및 화학 물질은 인체 건강에 해를 끼칠 수 있습니다.누출 및 유출을 방지하기 위해 설계된 유체 시스템 구성 요소는 이러한 유체를 안전하고 통제된 방식으로 생산 단위로 공급할 수 있습니다..

 

효율성: 고품질의 유체 시스템 구성 요소의 누출 없는 구조와 정밀한 제어로 운영 정지 시간 및 빈번한 유지 보수 요구 사항이 최소화되며 원활한,생산 목표를 달성하기 위해 효율적인 제조.

 

품질 제조 유체 시스템 구성 요소 솔루션

 

유체 시스템 구성 요소는 반도체 제조의 도전에 대응하기 위해 고품질 설치를 필요로 합니다.

 

밸브: 디아프라그마, 밸브 또는 바늘 밸브 와 같은 고성능 밸브 는 제조 시설 에서 유체 흐름 을 이상적 으로 조절 합니다.고품질 밸브는 중요한 반도체 제조에 대한 생산 및 처리 프로세스의 효율성을 향상시키는 데 필요한 정확성과 제어 기능을 제공합니다..

 

튜브 및 튜브 시스템 및 기타 중요한 구성 요소에 대한 고순도 퓨팅은 유체 시스템 구성 요소의 안전성과 순도를 높이기 위해 밀폐 된 연결을 제공합니다.

 

튜브: 정밀 제조 요구 사항에 따라 단열 튜브는 열 관리를 도와 생산실에서 프로세스 조건을 최적화 할 수 있습니다.이것은 작은 온도 변동이 칩을 손상시키고 생산 폐기물을 초래할 수 있기 때문에 중요합니다..

 

유연 튜빙: 조건이 허용되는 경우 유연 튜빙을 사용하여 유체 시스템 조립에 있는 피팅의 수를 줄일 수 있다. 유체가 원하는 유체 경로를 얻기 위해 튜빙이 구부러진다.더 적은 부착 장치는 진동과 움직임으로 인한 누출 및 손상의 위험이 적다는 것을 의미합니다.

 

조절기: 조절기 는 반도체 제조 과정 의 각 단계 에서 압력 을 효과적으로 제어 합니다. 일관성 있고 정확 한 흐름을 달성 합니다.유체 화학 물질과 특수 재료를 낭비하는 것을 피하면서 고품질의 수확.

 

필터: 단일 입자가 반도체 성능에 영향을 줄 수 있습니다. 초고 순수 필터의 사용은 입자 오염을 제거하고 칩 손상을 최소화합니다.

 

반도체 제조에서 유체 시스템 효율성은 AFK-LOK의 광범위한 고품질 밸브, 피팅, 조절기, 튜브 및 필터로 달성 할 수 있습니다.