반도체, 리?? 배터리 및 광 전자 디스플레이에서 안정적인 특수 가스 공급은 지속적인 생산의 기초입니다.가스 충전 시스템은 가스 소스와 사용 지점 사이의 중요한 허브가 직접적으로 안전성을 결정합니다., 연속성, 순수성.
가스 충전 시스템은 특정 압력, 온도 및 순수성에서 실린더 또는 컨테이너에 산업 가스를 충전합니다.
| 요구 사항 | 설명 |
| 안전 | 엄격 한 압력 및 온도 제어; 과잉 충전 및 잘못 충전 방지 |
| 순결성 보장 | 충전 순환 내내 불순물 침입을 제거 |
| 정밀 측정 | 국가 표준에 따라 무게 또는 부피로 정확한 충전량 |
| 연속 작동 | 고출력 다기 실린더 팩 충전 |
그 다음으로GB16163-1996, 산업용 가스는 물리적 상태와 화학적 특성에 따라 분류됩니다.
대량 가스- 대용량 기존 가스 (O2, N2, Ar, H2, CO2, C2H2)
| 카테고리 | 결정적 온도 | 국가 |
| 영구 가스 | < -10°C | 가스성 |
| 고압 액화 | -10°C ~ 70°C | 액체, 결정적 온도 이상으로 증발 |
| 용해된 아세틸렌 | ∙ | 압력 중 용매에 녹은 |
특수 가스전자제품 및 특수화학용 고순도 저용량 가스:
고압 액화:
저압 액화 (> 70°C):
| # | 모듈 | 기능 |
| 1 | 가스 소스 규정 | 흡입, 압력 조절, 안정화 출력 |
| 2 | 충전 래크 및 매니폴드 | 원자력 다기통 병렬 충전 장치 |
| 3 | 측정 및 제어 | 무게/압 모니터링, 자동 밸브, 안전 잠금 |
| 4 | 안전 보호 | 과압 완화, 비상 차단, 누출 감지 |
| 5 | 정화 및 필터레이션 | 사전 충전 가스 정화 |
| 6 | 방울 가스 처리 | 잔류가스의 회수 또는 무해한 처리 |
충전 복합장치중앙 실행 단위. 브랜치 밸브와 전용 커넥터와 함께 EP 등급 전기 닦은 스테인리스 스틸은 동시에 다 실린더 팩 채우기를 가능하게합니다.산소, 수소, 아르곤 및 특수 가스 변형은 각각 일치하는 재료와 밀폐를 사용합니다.
가스 복수 시스템1차/초차 압력 감축과 함께 여러 실린더 그룹을 집합하여 자동화된 은행 전환을 통해 끊김없는 공급을 가능하게 합니다.
압력 조절 밸브 그룹고압 소스 가스를 표적 충전 압력으로 줄입니다.디아프라그마형 절감기가 필수입니다.: 대막 밀폐 챔버는 내부 오염을 제거하고 반도체 수준의 응용 프로그램에 중요한 ppb 수준의 순도를 유지합니다.
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